功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
8期
1336-1338
,共3页
郑海务%苏剑峰%王科范%李银丽%顾玉宗%傅竹西
鄭海務%囌劍峰%王科範%李銀麗%顧玉宗%傅竹西
정해무%소검봉%왕과범%리은려%고옥종%부죽서
Si%6H-SiC%化学气相沉积%微结构
Si%6H-SiC%化學氣相沉積%微結構
Si%6H-SiC%화학기상침적%미결구
在Si(111)衬底上,采用SiH4-C3H8-H2气体反应体系,通过低压化学气相沉积(LPCVD)工艺外延出结晶质量良好的SiC薄膜.低温光致发光谱表明该薄膜属于6H-SiC多型体.X射线衍射图表明该薄膜具有高度的择优取向性.扫描电子显微镜图表明该薄膜由片状SiC晶粒组成.拉曼光谱和透射电子衍射谱的结果进一步表明该薄膜具有较高的结晶质量.对Si(111)衬底上6H-SiC薄膜的生长机制进行了初步探讨.
在Si(111)襯底上,採用SiH4-C3H8-H2氣體反應體繫,通過低壓化學氣相沉積(LPCVD)工藝外延齣結晶質量良好的SiC薄膜.低溫光緻髮光譜錶明該薄膜屬于6H-SiC多型體.X射線衍射圖錶明該薄膜具有高度的擇優取嚮性.掃描電子顯微鏡圖錶明該薄膜由片狀SiC晶粒組成.拉曼光譜和透射電子衍射譜的結果進一步錶明該薄膜具有較高的結晶質量.對Si(111)襯底上6H-SiC薄膜的生長機製進行瞭初步探討.
재Si(111)츤저상,채용SiH4-C3H8-H2기체반응체계,통과저압화학기상침적(LPCVD)공예외연출결정질량량호적SiC박막.저온광치발광보표명해박막속우6H-SiC다형체.X사선연사도표명해박막구유고도적택우취향성.소묘전자현미경도표명해박막유편상SiC정립조성.랍만광보화투사전자연사보적결과진일보표명해박막구유교고적결정질량.대Si(111)츤저상6H-SiC박막적생장궤제진행료초보탐토.
