真空
真空
진공
VACUUM
2007年
4期
50-51
,共2页
马铁明%付洪川%闫正宇%董丽娜%王春东
馬鐵明%付洪川%閆正宇%董麗娜%王春東
마철명%부홍천%염정우%동려나%왕춘동
金属膜%电阻%专用镀膜机
金屬膜%電阻%專用鍍膜機
금속막%전조%전용도막궤
新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备.文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分予以阐明.
新型磁控濺射電阻鍍膜機是在同一檯設備上能製作齣中、低和高阻值金屬膜電阻的專用設備.文章主要是對它的結構及設計覈心部分進行瞭論述,併將研製中的一些數據和關鍵部分予以闡明.
신형자공천사전조도막궤시재동일태설비상능제작출중、저화고조치금속막전조적전용설비.문장주요시대타적결구급설계핵심부분진행료논술,병장연제중적일사수거화관건부분여이천명.
