光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2007年
4期
140-144
,共5页
郎奇光栅%郎奇条纹%补偿光栅%大口径非球面
郎奇光柵%郎奇條紋%補償光柵%大口徑非毬麵
랑기광책%랑기조문%보상광책%대구경비구면
在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上,介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法,并进行了光栅频率和灵敏度分析.通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较,发现可以通过改变其频率来实现大口径非球面不同加工阶段2～200 μm范围内的误差检测.该方法制作简单,使用方便.它的深入研究,将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段.
在對非毬麵加工過程中常用檢測方法的優缺點進行比較的基礎上,介紹瞭Ronchi光柵法的繫統組成、工作原理和數據處理方法,併進行瞭光柵頻率和靈敏度分析.通過對Ronchi光柵的頻率、靈敏度的分析比較,髮現可以通過改變其頻率來實現大口徑非毬麵不同加工階段2～200 μm範圍內的誤差檢測.該方法製作簡單,使用方便.它的深入研究,將為大口徑非毬麵精磨和初拋光階段提供一種有效、可靠的定量檢測手段.
재대비구면가공과정중상용검측방법적우결점진행비교적기출상,개소료Ronchi광책법적계통조성、공작원리화수거처리방법,병진행료광책빈솔화령민도분석.통과대Ronchi광책적빈솔、령민도적분석비교,발현가이통과개변기빈솔래실현대구경비구면불동가공계단2～200 μm범위내적오차검측.해방법제작간단,사용방편.타적심입연구,장위대구경비구면정마화초포광계단제공일충유효、가고적정량검측수단.
