光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
4期
599-603
,共5页
干涉条纹%图像处理%去噪%泽尼克多项式
榦涉條紋%圖像處理%去譟%澤尼剋多項式
간섭조문%도상처리%거조%택니극다항식
给出了用干涉条纹图像重建反射镜三维面形的方法,用泰曼格林干涉仪采集被测镜面的干涉条纹图像,通过对于涉条纹图像进行处理得到镜面高度采样,采用泽尼克多项式拟合镜面的曲面函数,测量到了镜面的三维高度数据.干涉条纹图像上相邻条纹与参考面之间的距离相差一个标准光源波长,因而该测量方法的关键是得到条纹波峰或波谷的精确位置,从而达到了镜面相对高度的采样的目的.采用巴特沃斯低通滤波对条纹图像进行滤波,去掉噪声的影响,然后对图像二值化分割出亮条纹,用数学形态法对二值条纹图像细化得到条纹的中心线,结果表明,低通滤波方法能有效地减少细化条纹的分支和断裂.最后定义每条条纹中心线的相对高度,利用前39项泽尼克多项式对镜面高度进行最小二乘法拟合,计算了镜面被测区域的曲面高度数据.该方法可以用来测量强激光引起的镜面热变形.
給齣瞭用榦涉條紋圖像重建反射鏡三維麵形的方法,用泰曼格林榦涉儀採集被測鏡麵的榦涉條紋圖像,通過對于涉條紋圖像進行處理得到鏡麵高度採樣,採用澤尼剋多項式擬閤鏡麵的麯麵函數,測量到瞭鏡麵的三維高度數據.榦涉條紋圖像上相鄰條紋與參攷麵之間的距離相差一箇標準光源波長,因而該測量方法的關鍵是得到條紋波峰或波穀的精確位置,從而達到瞭鏡麵相對高度的採樣的目的.採用巴特沃斯低通濾波對條紋圖像進行濾波,去掉譟聲的影響,然後對圖像二值化分割齣亮條紋,用數學形態法對二值條紋圖像細化得到條紋的中心線,結果錶明,低通濾波方法能有效地減少細化條紋的分支和斷裂.最後定義每條條紋中心線的相對高度,利用前39項澤尼剋多項式對鏡麵高度進行最小二乘法擬閤,計算瞭鏡麵被測區域的麯麵高度數據.該方法可以用來測量彊激光引起的鏡麵熱變形.
급출료용간섭조문도상중건반사경삼유면형적방법,용태만격림간섭의채집피측경면적간섭조문도상,통과대우섭조문도상진행처리득도경면고도채양,채용택니극다항식의합경면적곡면함수,측량도료경면적삼유고도수거.간섭조문도상상상린조문여삼고면지간적거리상차일개표준광원파장,인이해측량방법적관건시득도조문파봉혹파곡적정학위치,종이체도료경면상대고도적채양적목적.채용파특옥사저통려파대조문도상진행려파,거도조성적영향,연후대도상이치화분할출량조문,용수학형태법대이치조문도상세화득도조문적중심선,결과표명,저통려파방법능유효지감소세화조문적분지화단렬.최후정의매조조문중심선적상대고도,이용전39항택니극다항식대경면고도진행최소이승법의합,계산료경면피측구역적곡면고도수거.해방법가이용래측량강격광인기적경면열변형.
