传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2340-2343
,共4页
郭琳瑞%陈烽%叶雄英%刘力涛%伍康%周兆英
郭琳瑞%陳烽%葉雄英%劉力濤%伍康%週兆英
곽림서%진봉%협웅영%류력도%오강%주조영
微机电系统(MEMS)%纳机电系统(NEMS)%碳纳米管%场发射
微機電繫統(MEMS)%納機電繫統(NEMS)%碳納米管%場髮射
미궤전계통(MEMS)%납궤전계통(NEMS)%탄납미관%장발사
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V～4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
利用電泳沉積的方法在MEMS結構特定位置上組裝碳納米管薄膜,以此作為髮射體研製基于碳納米管場髮射的傳感器,併對其場髮射進行瞭測試和分析.電鏡觀測與場髮射實驗結果錶明,利用電泳沉積方法可以隻在MEMS結構的特定位置沉積碳納米管薄膜,對于4μm的髮射間隙、該薄膜的場髮射開啟電壓約為3.6V～4V,髮射電壓20V時的髮射電流可至28μA.這種"post-MEMS"的碳納米管薄膜組裝方法具有工藝簡單的特點,同時避免瞭碳納米管生長對MEMS工藝環境以及器件的汙染、破壞,實現瞭納米材料組裝與MEMS工藝的兼容.
이용전영침적적방법재MEMS결구특정위치상조장탄납미관박막,이차작위발사체연제기우탄납미관장발사적전감기,병대기장발사진행료측시화분석.전경관측여장발사실험결과표명,이용전영침적방법가이지재MEMS결구적특정위치침적탄납미관박막,대우4μm적발사간극、해박막적장발사개계전압약위3.6V～4V,발사전압20V시적발사전류가지28μA.저충"post-MEMS"적탄납미관박막조장방법구유공예간단적특점,동시피면료탄납미관생장대MEMS공예배경이급기건적오염、파배,실현료납미재료조장여MEMS공예적겸용.
