人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
2期
280-284
,共5页
刘焕林%郝瑞亭%杨宇
劉煥林%郝瑞亭%楊宇
류환림%학서정%양우
Si/Ge多层膜%离子束溅射%红外探测材料
Si/Ge多層膜%離子束濺射%紅外探測材料
Si/Ge다층막%리자속천사%홍외탐측재료
采用离子束溅射方法在Si衬底上制备Si/Ge多层膜.通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列Si/Ge多层膜样品.通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系.在小束流(10mA)、室温条件下制备出界面清晰、周期完整的Si/Ge多层膜.通过红外吸收谱的测量发现薄膜样品具有较好的红外吸收性能.
採用離子束濺射方法在Si襯底上製備Si/Ge多層膜.通過改變生長溫度、濺射速率等因素得到一繫列Si/Ge多層膜樣品.通過X射線衍射、拉曼散射、原子力顯微分析(AFM)等錶徵方法研究薄膜結構與生長條件的關繫.在小束流(10mA)、室溫條件下製備齣界麵清晰、週期完整的Si/Ge多層膜.通過紅外吸收譜的測量髮現薄膜樣品具有較好的紅外吸收性能.
채용리자속천사방법재Si츤저상제비Si/Ge다층막.통과개변생장온도、천사속솔등인소득도일계렬Si/Ge다층막양품.통과X사선연사、랍만산사、원자력현미분석(AFM)등표정방법연구박막결구여생장조건적관계.재소속류(10mA)、실온조건하제비출계면청석、주기완정적Si/Ge다층막.통과홍외흡수보적측량발현박막양품구유교호적홍외흡수성능.
