激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2006年
2期
11-13
,共3页
冯波%程正学%陈华%夏之宁%戚宁武%王硕
馮波%程正學%陳華%夏之寧%慼寧武%王碩
풍파%정정학%진화%하지저%척저무%왕석
微流控芯片%激光微加工%刻蚀%表面修饰
微流控芯片%激光微加工%刻蝕%錶麵脩飾
미류공심편%격광미가공%각식%표면수식
利用激光制作微流控芯片的报道近年不断增加.激光制作微流控芯片具有灵活、快速、高效、可控的特点,对激光制作方法的研究具有广阔的发展前景.本文系统的对微流控芯片制作中的激光类型及应用特点、各种可被激光加工的芯片材料、制作模式及其特点,以及芯片制作的激光工艺参数对芯片质量的影响作出综述,从激光与材料作用的机理出发,针对微流控芯片制作中存在的问题进行了探讨.
利用激光製作微流控芯片的報道近年不斷增加.激光製作微流控芯片具有靈活、快速、高效、可控的特點,對激光製作方法的研究具有廣闊的髮展前景.本文繫統的對微流控芯片製作中的激光類型及應用特點、各種可被激光加工的芯片材料、製作模式及其特點,以及芯片製作的激光工藝參數對芯片質量的影響作齣綜述,從激光與材料作用的機理齣髮,針對微流控芯片製作中存在的問題進行瞭探討.
이용격광제작미류공심편적보도근년불단증가.격광제작미류공심편구유령활、쾌속、고효、가공적특점,대격광제작방법적연구구유엄활적발전전경.본문계통적대미류공심편제작중적격광류형급응용특점、각충가피격광가공적심편재료、제작모식급기특점,이급심편제작적격광공예삼수대심편질량적영향작출종술,종격광여재료작용적궤리출발,침대미류공심편제작중존재적문제진행료탐토.
