长春理工大学学报(自然科学版)
長春理工大學學報(自然科學版)
장춘리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
1期
8-10
,共3页
王玉新%冯克诚%吴云%赵永年
王玉新%馮剋誠%吳雲%趙永年
왕옥신%풍극성%오운%조영년
射频磁控溅射%硼碳氮薄膜%内应力
射頻磁控濺射%硼碳氮薄膜%內應力
사빈자공천사%붕탄담박막%내응력
采用射频磁控溅射技术制备出硼碳氮(BCN)薄膜.傅里叶红外吸收光谱(FTIR)测量发现样品的组成原子之间实现了原子级化合,扫描电子显微镜(SEM)测量发现样品与衬底间存在较大的内应力.样品剥落后,应力的消除使红外吸收峰向低波数移动.实验还发现,对新制备的硼碳氮薄膜进行600℃热处理能有效释放薄膜中的压应力.
採用射頻磁控濺射技術製備齣硼碳氮(BCN)薄膜.傅裏葉紅外吸收光譜(FTIR)測量髮現樣品的組成原子之間實現瞭原子級化閤,掃描電子顯微鏡(SEM)測量髮現樣品與襯底間存在較大的內應力.樣品剝落後,應力的消除使紅外吸收峰嚮低波數移動.實驗還髮現,對新製備的硼碳氮薄膜進行600℃熱處理能有效釋放薄膜中的壓應力.
채용사빈자공천사기술제비출붕탄담(BCN)박막.부리협홍외흡수광보(FTIR)측량발현양품적조성원자지간실현료원자급화합,소묘전자현미경(SEM)측량발현양품여츤저간존재교대적내응력.양품박락후,응력적소제사홍외흡수봉향저파수이동.실험환발현,대신제비적붕탄담박막진행600℃열처리능유효석방박막중적압응력.
