基于嵌入式实时操作系统的硅片传输系统设计
기우감입식실시조작계통적규편전수계통설계
The Wafer Transmission System Based on Embedded Real-time Operating System
  • 万方数据
    仪器仪表学报 의기의표학보
    CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
    2005年 z1期 474-476 ,共3页

    王方勇%朱维涛%徐礼春

    왕방용%주유도%서례춘

    硅片%传输%嵌入式%实时操作系统 硅片%傳輸%嵌入式%實時操作繫統
    규편%전수%감입식%실시조작계통
    设计了硅片加工、处理工艺中的硅片传输子系统,基于嵌入式实时操作系统Vxworks,实现了整个传输过程中全自动化、快速、轻柔、精确、无污染.
    설계료규편가공、처리공예중적규편전수자계통,기우감입식실시조작계통Vxworks,실현료정개전수과정중전자동화、쾌속、경유、정학、무오염.
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