中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
19期
1693-1696
,共4页
朱俊华%周兆英%冯焱颖%杜桂彬
硃俊華%週兆英%馮焱穎%杜桂彬
주준화%주조영%풍염영%두계빈
MEMS%雾化吸入疗法(IDT)%微喷%压力波
MEMS%霧化吸入療法(IDT)%微噴%壓力波
MEMS%무화흡입요법(IDT)%미분%압력파
介绍了一种基于MEMS技术的雾化微喷的设计、仿真、加工和实验结果.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从阵列微喷孔中喷出,所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应,不会破坏药液的物理和化学特性.通过有限元仿真分析了微喷液体腔内压力波的分布,并根据仿真结果优化了微喷孔的布置.实验结果表明,该微喷所产生的液滴平均直径15μm,平均速度3m/s.
介紹瞭一種基于MEMS技術的霧化微噴的設計、倣真、加工和實驗結果.該微噴以壓電效應為驅動方式,通過壓電片振動所產生的壓力使液體從陣列微噴孔中噴齣,所產生的液滴直徑和速度分佈集中,無熱效應,不會破壞藥液的物理和化學特性.通過有限元倣真分析瞭微噴液體腔內壓力波的分佈,併根據倣真結果優化瞭微噴孔的佈置.實驗結果錶明,該微噴所產生的液滴平均直徑15μm,平均速度3m/s.
개소료일충기우MEMS기술적무화미분적설계、방진、가공화실험결과.해미분이압전효응위구동방식,통과압전편진동소산생적압력사액체종진렬미분공중분출,소산생적액적직경화속도분포집중,무열효응,불회파배약액적물리화화학특성.통과유한원방진분석료미분액체강내압력파적분포,병근거방진결과우화료미분공적포치.실험결과표명,해미분소산생적액적평균직경15μm,평균속도3m/s.
