中国仪器仪表
中國儀器儀錶
중국의기의표
CHINA INSTRUMENTATION
2005年
12期
94-96
,共3页
微机测控网络%工控机%监督控制
微機測控網絡%工控機%鑑督控製
미궤측공망락%공공궤%감독공제
本文介绍了一种基于微机测控网络的半导体扩散/氧化工艺设备.它采用工控机、温控仪、气体质量流量控制器对设备的运行状态和工艺过程进行监督控制,具有配置灵活、低成本、性能和可靠性较高等优点.
本文介紹瞭一種基于微機測控網絡的半導體擴散/氧化工藝設備.它採用工控機、溫控儀、氣體質量流量控製器對設備的運行狀態和工藝過程進行鑑督控製,具有配置靈活、低成本、性能和可靠性較高等優點.
본문개소료일충기우미궤측공망락적반도체확산/양화공예설비.타채용공공궤、온공의、기체질량류량공제기대설비적운행상태화공예과정진행감독공제,구유배치령활、저성본、성능화가고성교고등우점.
