中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2005年
11期
1827-1832
,共6页
李晓伟%丁宇清%曾飞%谷宇%耿魁伟%潘峰
李曉偉%丁宇清%曾飛%穀宇%耿魁偉%潘峰
리효위%정우청%증비%곡우%경괴위%반봉
钴%铌%离子束辅助沉积%入射角
鈷%鈮%離子束輔助沉積%入射角
고%니%리자속보조침적%입사각
采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响.结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固溶体;Co80Nb20薄膜均表现出平面易磁化特征,在入射角小于75°时Co80Nb20薄膜矫顽力较小;当离子束入射角度增大到75°后,薄膜在平行膜面方向矫顽力明显增大,而垂直膜面方向矫顽力减小.从理论上讨论了离子束入射角度对原子混合、热峰效应、薄膜内应力及亚稳结构形成的影响.
採用斜離子束輔助沉積(IBAD)方法製備瞭Co80Nb20閤金薄膜,研究瞭離子束入射角度對薄膜結構、組織及磁性能的影響.結果錶明:噹離子束入射角度小于30°時形成fcc亞穩閤金薄膜,入射角增大到30°後轉變為hcp固溶體;Co80Nb20薄膜均錶現齣平麵易磁化特徵,在入射角小于75°時Co80Nb20薄膜矯頑力較小;噹離子束入射角度增大到75°後,薄膜在平行膜麵方嚮矯頑力明顯增大,而垂直膜麵方嚮矯頑力減小.從理論上討論瞭離子束入射角度對原子混閤、熱峰效應、薄膜內應力及亞穩結構形成的影響.
채용사리자속보조침적(IBAD)방법제비료Co80Nb20합금박막,연구료리자속입사각도대박막결구、조직급자성능적영향.결과표명:당리자속입사각도소우30°시형성fcc아은합금박막,입사각증대도30°후전변위hcp고용체;Co80Nb20박막균표현출평면역자화특정,재입사각소우75°시Co80Nb20박막교완력교소;당리자속입사각도증대도75°후,박막재평행막면방향교완력명현증대,이수직막면방향교완력감소.종이론상토론료리자속입사각도대원자혼합、열봉효응、박막내응력급아은결구형성적영향.
