传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2004年
9期
21-23
,共3页
离子溅镀%薄膜%激光调阻%温度特性
離子濺鍍%薄膜%激光調阻%溫度特性
리자천도%박막%격광조조%온도특성
本文对薄膜压力传感器的原理、结构、工艺等进行了分析,并介绍了应用离子溅镀、激光调阻等技术研制成的一种小型超低温薄膜压力传感器.这种传感器测量范围宽、精度高、抗振动和抗腐蚀性强,能在-200℃～100℃温度范围内稳定可靠的工作.
本文對薄膜壓力傳感器的原理、結構、工藝等進行瞭分析,併介紹瞭應用離子濺鍍、激光調阻等技術研製成的一種小型超低溫薄膜壓力傳感器.這種傳感器測量範圍寬、精度高、抗振動和抗腐蝕性彊,能在-200℃～100℃溫度範圍內穩定可靠的工作.
본문대박막압력전감기적원리、결구、공예등진행료분석,병개소료응용리자천도、격광조조등기술연제성적일충소형초저온박막압력전감기.저충전감기측량범위관、정도고、항진동화항부식성강,능재-200℃～100℃온도범위내은정가고적공작.
