材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2004年
5期
12-15
,共4页
钱开友%林仰魁%徐东%蔡炳初%孙卓
錢開友%林仰魁%徐東%蔡炳初%孫卓
전개우%림앙괴%서동%채병초%손탁
场发射冷阴极%金刚石%类金刚石%碳纳米管
場髮射冷陰極%金剛石%類金剛石%碳納米管
장발사랭음겁%금강석%류금강석%탄납미관
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位.目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位.阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望.
場髮射冷陰極材料作為真空微電子器件的覈心部件,在真空微電子場髮射的研究與應用中佔有極其重要的地位.目前碳基材料金剛石、類金剛石和碳納米管在場髮射冷陰級的研究中居統治地位.闡述瞭以上3種材料的製備工藝,髮射特性,提齣瞭改進其髮射性能的措施,併對它們目前存在的問題及其應用前景進行瞭展望.
장발사랭음겁재료작위진공미전자기건적핵심부건,재진공미전자장발사적연구여응용중점유겁기중요적지위.목전탄기재료금강석、류금강석화탄납미관재장발사랭음급적연구중거통치지위.천술료이상3충재료적제비공예,발사특성,제출료개진기발사성능적조시,병대타문목전존재적문제급기응용전경진행료전망.
