材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2003年
10期
80-82
,共3页
王必本%Soonil Lee%郝伟%严辉%Seungho Choi
王必本%Soonil Lee%郝偉%嚴輝%Seungho Choi
왕필본%Soonil Lee%학위%엄휘%Seungho Choi
准直碳纳米管%辉光放电%压强
準直碳納米管%輝光放電%壓彊
준직탄납미관%휘광방전%압강
利用负偏压增强热丝化学气相沉积系统在沉积有过渡层Ta和催化剂层NiFe的Si衬底上制备出准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果表明辉光放电和压强对其生长和结构有极大的影响.若无辉光放电产生,碳纳米管是弯曲的,有辉光放电时,碳纳米管是准直的.当压强较大时,准直碳纳米管较容易生长,并且随着压强的减小,其平均直径减小和平均长度增大.但压强为5Pa时,准直碳纳米管却不能够生长.最后,分析和讨论了辉光放电和压强对准直碳纳米管生长和结构的影响.
利用負偏壓增彊熱絲化學氣相沉積繫統在沉積有過渡層Ta和催化劑層NiFe的Si襯底上製備齣準直碳納米管,併用掃描電子顯微鏡研究瞭它們的生長和結構,結果錶明輝光放電和壓彊對其生長和結構有極大的影響.若無輝光放電產生,碳納米管是彎麯的,有輝光放電時,碳納米管是準直的.噹壓彊較大時,準直碳納米管較容易生長,併且隨著壓彊的減小,其平均直徑減小和平均長度增大.但壓彊為5Pa時,準直碳納米管卻不能夠生長.最後,分析和討論瞭輝光放電和壓彊對準直碳納米管生長和結構的影響.
이용부편압증강열사화학기상침적계통재침적유과도층Ta화최화제층NiFe적Si츤저상제비출준직탄납미관,병용소묘전자현미경연구료타문적생장화결구,결과표명휘광방전화압강대기생장화결구유겁대적영향.약무휘광방전산생,탄납미관시만곡적,유휘광방전시,탄납미관시준직적.당압강교대시,준직탄납미관교용역생장,병차수착압강적감소,기평균직경감소화평균장도증대.단압강위5Pa시,준직탄납미관각불능구생장.최후,분석화토론료휘광방전화압강대준직탄납미관생장화결구적영향.
