部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法
부분상간분수역려파개선광각분변솔신방법
New Filtering Approach on Partial Coherent Imaging System for Improving Photolithography Resolution
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2003年 7期 892-895 ,共4页

    杜惊雷%张怡霄%杨静%刘世杰%肖啸%郭永康%杜春雷

    두량뢰%장이소%양정%류세걸%초소%곽영강%두춘뢰

    分数傅里叶域滤波%光学光刻%部分相干成像%瞳孔滤波 分數傅裏葉域濾波%光學光刻%部分相榦成像%瞳孔濾波
    분수부리협역려파%광학광각%부분상간성상%동공려파
    基于部分相干成像和分数傅里叶变换,提出在投影光刻系统中,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法.理论和模拟分析表明:在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器,能增强滤波操作的灵活性和效果,可更有效地改善光刻图形质量,为提高曝光系统的分辨力提供一种新的有效选择.
    기우부분상간성상화분수부리협변환,제출재투영광각계통중,이용분수역려파개선광각도형질량적신방법.이론화모의분석표명:재폭광성상계통중적괄당위치가입분수역려파기,능증강려파조작적령활성화효과,가경유효지개선광각도형질량,위제고폭광계통적분변력제공일충신적유효선택.
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