仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2009年
9期
9-11,14
,共4页
孟超%赵玉龙%赵立波%王新波%刘元浩
孟超%趙玉龍%趙立波%王新波%劉元浩
맹초%조옥룡%조립파%왕신파%류원호
MEMS%耐高温压力传感器%封装%薄膜隔离式结构%平膜膜片%波纹状膜片%热膨胀
MEMS%耐高溫壓力傳感器%封裝%薄膜隔離式結構%平膜膜片%波紋狀膜片%熱膨脹
MEMS%내고온압력전감기%봉장%박막격리식결구%평막막편%파문상막편%열팽창
MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油.由于传感器的工作温度达250 ℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度.文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250 ℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性.
MEMS耐高溫壓力傳感器在封裝結構上採用薄膜隔離式結構,在油腔與波紋片所形成的密閉容腔裏麵填充高溫硅油.由于傳感器的工作溫度達250 ℃,硅油、殼體基座及波紋片將會產生不同程度的熱膨脹,最終將給壓阻力敏芯片形成一定附加壓力,嚴重影響傳感器的精度.文中主要就硅油、殼體基座及波紋片在250 ℃工作時由于不同的熱膨脹繫數而導緻的膨脹不一緻情況進行ANSYS倣真分析,研究瞭平膜膜片及波紋狀膜片情況下的硅油熱膨脹問題,最後相應地得到瞭硅油相對于殼體和波紋片的熱膨脹率,同時分析得齣瞭閤理設計波紋片結構可以有效減小硅油熱膨脹時所產生的附加壓力,提高傳感器的工作靈敏度與穩定性.
MEMS내고온압력전감기재봉장결구상채용박막격리식결구,재유강여파문편소형성적밀폐용강리면전충고온규유.유우전감기적공작온도체250 ℃,규유、각체기좌급파문편장회산생불동정도적열팽창,최종장급압조력민심편형성일정부가압력,엄중영향전감기적정도.문중주요취규유、각체기좌급파문편재250 ℃공작시유우불동적열팽창계수이도치적팽창불일치정황진행ANSYS방진분석,연구료평막막편급파문상막편정황하적규유열팽창문제,최후상응지득도료규유상대우각체화파문편적열팽창솔,동시분석득출료합리설계파문편결구가이유효감소규유열팽창시소산생적부가압력,제고전감기적공작령민도여은정성.
