高分子通报
高分子通報
고분자통보
POLYMER BULLETIN
2003年
4期
10-24
,共15页
刘金刚%何民辉%王丽芳%杨海霞%李彦峰%范琳%杨士勇
劉金剛%何民輝%王麗芳%楊海霞%李彥峰%範琳%楊士勇
류금강%하민휘%왕려방%양해하%리언봉%범림%양사용
含氟聚酰亚胺%微电子%低介电常数材料%取向膜
含氟聚酰亞胺%微電子%低介電常數材料%取嚮膜
함불취선아알%미전자%저개전상수재료%취향막
综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺(PI)研究及应用领域中的最新进展情况.主要从现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述.重点阐述了中国科学院化学研究所305组近几年在这方面的研究进展情况.并指出为了推动我国微电子工业的发展,研制开发低成本、高技术含量的含氟聚酰亚胺材料具有十分重要的现实意义.
綜述瞭近年來國內外在含氟聚酰亞胺(PI)研究及應用領域中的最新進展情況.主要從現代微電子工業對相關材料的性能要求、標準型聚酰亞胺材料所麵臨的挑戰以及新型含氟聚酰亞胺在微電子工業中的應用等幾箇方麵進行瞭詳細的綜述.重點闡述瞭中國科學院化學研究所305組近幾年在這方麵的研究進展情況.併指齣為瞭推動我國微電子工業的髮展,研製開髮低成本、高技術含量的含氟聚酰亞胺材料具有十分重要的現實意義.
종술료근년래국내외재함불취선아알(PI)연구급응용영역중적최신진전정황.주요종현대미전자공업대상관재료적성능요구、표준형취선아알재료소면림적도전이급신형함불취선아알재미전자공업중적응용등궤개방면진행료상세적종술.중점천술료중국과학원화학연구소305조근궤년재저방면적연구진전정황.병지출위료추동아국미전자공업적발전,연제개발저성본、고기술함량적함불취선아알재료구유십분중요적현실의의.
