激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2001年
4期
250-253
,共4页
赵元安%杨向东%孔明东%付雄鹰
趙元安%楊嚮東%孔明東%付雄鷹
조원안%양향동%공명동%부웅응
等离子体辅助沉积%无漂移偏振膜%波长漂移
等離子體輔助沉積%無漂移偏振膜%波長漂移
등리자체보조침적%무표이편진막%파장표이
报道了用等离子体辅助（Plasma-IAD）沉积技术镀制中心波长在1054nm的大口径（大于0.9m2）无漂移偏振膜，经高温高湿处理后，中心波长的漂移小于1nm。
報道瞭用等離子體輔助（Plasma-IAD）沉積技術鍍製中心波長在1054nm的大口徑（大于0.9m2）無漂移偏振膜，經高溫高濕處理後，中心波長的漂移小于1nm。
보도료용등리자체보조（Plasma-IAD）침적기술도제중심파장재1054nm적대구경（대우0.9m2）무표이편진막，경고온고습처리후，중심파장적표이소우1nm。
