传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2000年
3期
18-20
,共3页
刘晓为%王蔚%王喜莲%刘玉强%刘振茂
劉曉為%王蔚%王喜蓮%劉玉彊%劉振茂
류효위%왕위%왕희련%류옥강%류진무
压力传感器%微泵%计算机模拟%设计
壓力傳感器%微泵%計算機模擬%設計
압력전감기%미빙%계산궤모의%설계
介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用,通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析,优化了器件的结构设计.研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具.
介紹瞭計算機模擬技術在微傳感器和微執行器設計中的應用,通過對多晶硅壓力傳感器和微泵膜片的計算機模擬分析,優化瞭器件的結構設計.研究工作錶明計算機模擬是微傳感器和微執行器設計的有效工具.
개소료계산궤모의기술재미전감기화미집행기설계중적응용,통과대다정규압력전감기화미빙막편적계산궤모의분석,우화료기건적결구설계.연구공작표명계산궤모의시미전감기화미집행기설계적유효공구.
