测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
1999年
10期
6-8
,共3页
高晓光%李建平%于中尧%朱敏慧
高曉光%李建平%于中堯%硃敏慧
고효광%리건평%우중요%주민혜
微结构气敏传感器%有限元方法%结构设计
微結構氣敏傳感器%有限元方法%結構設計
미결구기민전감기%유한원방법%결구설계
微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件.本文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用.结果表明,有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗,对器件结构设计有很好的指导作用.
微結構氣敏傳感器是利用微電子、微機械和薄膜等技術製作的新一代氣敏元件.本文報道有限元方法在膜片型微結構氣敏傳感器設計中的應用.結果錶明,有限元方法可用于模擬膜片上的溫度分佈和器件功耗,對器件結構設計有很好的指導作用.
미결구기민전감기시이용미전자、미궤계화박막등기술제작적신일대기민원건.본문보도유한원방법재막편형미결구기민전감기설계중적응용.결과표명,유한원방법가용우모의막편상적온도분포화기건공모,대기건결구설계유흔호적지도작용.
