压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2003年
1期
26-29
,共4页
吴茂松%杨春生%茅昕辉%赵小林%蔡炳初
吳茂鬆%楊春生%茅昕輝%趙小林%蔡炳初
오무송%양춘생%모흔휘%조소림%채병초
微机电系统(MEMS)%可变光衰减器%执行器%电感器
微機電繫統(MEMS)%可變光衰減器%執行器%電感器
미궤전계통(MEMS)%가변광쇠감기%집행기%전감기
探讨了新型可变光衰减器--光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器的微磁驱动方式,从理论上分析了微磁执行器设计时应遵从的原理,讨论和设计了微磁执行器的各个参数,新开发了结合使用正胶(AZ-4000系列)和负胶(SU-8系列)的UV-LIGA工艺:在制作了光纤定位槽的基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层,涂布正胶,紫外光刻得到电镀模具,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯;在完成下层和中层后,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台,即涂布负胶覆盖较下层结构,光刻开出了通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求.并运用该工艺实现了微磁执行器.
探討瞭新型可變光衰減器--光纖橫嚮偏移型MEMS可變光衰減器的微磁驅動方式,從理論上分析瞭微磁執行器設計時應遵從的原理,討論和設計瞭微磁執行器的各箇參數,新開髮瞭結閤使用正膠(AZ-4000繫列)和負膠(SU-8繫列)的UV-LIGA工藝:在製作瞭光纖定位槽的基片上濺射Cr/Cu作為電鍍種子層,塗佈正膠,紫外光刻得到電鍍模具,電鍍Cu和FeNi分彆得到線圈的下層、中層和上層以及鐵芯;在完成下層和中層後,分彆進行一次負膠工藝以形成電絕緣層和後續結構的支撐平檯,即塗佈負膠覆蓋較下層結構,光刻開齣瞭通往較上一層的通道併使SU-8聚閤、交聯以滿足性能要求.併運用該工藝實現瞭微磁執行器.
탐토료신형가변광쇠감기--광섬횡향편이형MEMS가변광쇠감기적미자구동방식,종이론상분석료미자집행기설계시응준종적원리,토론화설계료미자집행기적각개삼수,신개발료결합사용정효(AZ-4000계렬)화부효(SU-8계렬)적UV-LIGA공예:재제작료광섬정위조적기편상천사Cr/Cu작위전도충자층,도포정효,자외광각득도전도모구,전도Cu화FeNi분별득도선권적하층、중층화상층이급철심;재완성하층화중층후,분별진행일차부효공예이형성전절연층화후속결구적지탱평태,즉도포부효복개교하층결구,광각개출료통왕교상일층적통도병사SU-8취합、교련이만족성능요구.병운용해공예실현료미자집행기.
