功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2003年
2期
161-164
,共4页
冲击加速度%固有频率%阻尼
遲擊加速度%固有頻率%阻尼
충격가속도%고유빈솔%조니
研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g～ 2× 105g的加速度传感器.
研究瞭硅微機械高 g(g為重力加速度 )加速度傳感器的固有頻率和阻尼特性對遲擊響應的 影響.傳感器固有頻率低,阻尼小時,遲擊加速度的響應波形包含傳感器共振波,造成測量榦擾. 採用有適噹阻尼,固有頻率高的雙質量塊結構高 g加速度傳感器,進行接近 2萬 g加速度峰值的 一繫列落桿遲擊實驗,都未見共振響應.同樣的傳感器製作成欠阻尼,進行實驗時,髮現共振榦擾. 該實驗所用的傳感器芯片麵積小,固有頻率高,調整該結構的彈性樑厚度,可製作量程為 2× 103g～ 2× 105g的加速度傳感器.
연구료규미궤계고 g(g위중력가속도 )가속도전감기적고유빈솔화조니특성대충격향응적 영향.전감기고유빈솔저,조니소시,충격가속도적향응파형포함전감기공진파,조성측량간우. 채용유괄당조니,고유빈솔고적쌍질량괴결구고 g가속도전감기,진행접근 2만 g가속도봉치적 일계렬락간충격실험,도미견공진향응.동양적전감기제작성흠조니,진행실험시,발현공진간우. 해실험소용적전감기심편면적소,고유빈솔고,조정해결구적탄성량후도,가제작량정위 2× 103g～ 2× 105g적가속도전감기.
