电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2002年
9期
9-10
,共2页
温宇峰%祖光裕%胡明%张之圣%刘志刚
溫宇峰%祖光裕%鬍明%張之聖%劉誌剛
온우봉%조광유%호명%장지골%류지강
铂薄膜热敏电阻%磁控溅射%基片
鉑薄膜熱敏電阻%磁控濺射%基片
박박막열민전조%자공천사%기편
本项研究目的是制作微型高精度铂薄膜热敏电阻器与集成电路配合,用于工业和科研中温度的精确测量.用高纯铂板作靶材,在玻璃基板上采用磁控溅射方法,制备成Pt薄膜热敏电阻,并在两端制作纯金电极.经测试表明,该Pt薄膜热敏电阻具备良好的线性度和灵敏度,电阻温度系数达到(或接近)3 850 ×10-6℃-1.本工艺条件稳定,适合批量生产.
本項研究目的是製作微型高精度鉑薄膜熱敏電阻器與集成電路配閤,用于工業和科研中溫度的精確測量.用高純鉑闆作靶材,在玻璃基闆上採用磁控濺射方法,製備成Pt薄膜熱敏電阻,併在兩耑製作純金電極.經測試錶明,該Pt薄膜熱敏電阻具備良好的線性度和靈敏度,電阻溫度繫數達到(或接近)3 850 ×10-6℃-1.本工藝條件穩定,適閤批量生產.
본항연구목적시제작미형고정도박박막열민전조기여집성전로배합,용우공업화과연중온도적정학측량.용고순박판작파재,재파리기판상채용자공천사방법,제비성Pt박막열민전조,병재량단제작순금전겁.경측시표명,해Pt박막열민전조구비량호적선성도화령민도,전조온도계수체도(혹접근)3 850 ×10-6℃-1.본공예조건은정,괄합비량생산.
