真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
5期
376-378
,共3页
张彤%胡安%毛福明%杨学谦
張彤%鬍安%毛福明%楊學謙
장동%호안%모복명%양학겸
电子诱导脱附%阈值能量%脉冲调制电子探束
電子誘導脫附%閾值能量%脈遲調製電子探束
전자유도탈부%역치능량%맥충조제전자탐속
本文介绍脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量方法的原理,同时给出该法进行电子诱导脱附阈值能量测量的实验及结果.与传统的直流电子探束测量电子诱导脱附阈值能量的方法相比,使得测量设备简化的同时,有效地提高测量的准确性和精度,使电子诱导脱附阈值能量的测量拓展到高真空的范围.
本文介紹脈遲調製電子探束測量電子誘導脫附閾值能量方法的原理,同時給齣該法進行電子誘導脫附閾值能量測量的實驗及結果.與傳統的直流電子探束測量電子誘導脫附閾值能量的方法相比,使得測量設備簡化的同時,有效地提高測量的準確性和精度,使電子誘導脫附閾值能量的測量拓展到高真空的範圍.
본문개소맥충조제전자탐속측량전자유도탈부역치능량방법적원리,동시급출해법진행전자유도탈부역치능량측량적실험급결과.여전통적직류전자탐속측량전자유도탈부역치능량적방법상비,사득측량설비간화적동시,유효지제고측량적준학성화정도,사전자유도탈부역치능량적측량탁전도고진공적범위.
