红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2002年
4期
46-48,26
,共4页
碲镉汞%HgCdTe%p+n结%红外探测器%退火%As离子注入
碲鎘汞%HgCdTe%p+n結%紅外探測器%退火%As離子註入
제력홍%HgCdTe%p+n결%홍외탐측기%퇴화%As리자주입
讨论了制作pn结的另一种途径,即在n型HgCdTe材料上离子注入As+,然后通过辐射快速退火形成反型p+层来获得p+n结.通过对制作工艺及实验结果的讨论,阐述了两种制作pn结工艺的特点.实验表明,采用辐射快速退火工艺可以在短时间内完成对HgCdTe注入表面的缺陷退火和杂质激活,而不会改变HgCdTe 组份.已用此方法在注入As+的n型HgCdTe样片上制作出性能较好的p+n结光伏红外探测器.
討論瞭製作pn結的另一種途徑,即在n型HgCdTe材料上離子註入As+,然後通過輻射快速退火形成反型p+層來穫得p+n結.通過對製作工藝及實驗結果的討論,闡述瞭兩種製作pn結工藝的特點.實驗錶明,採用輻射快速退火工藝可以在短時間內完成對HgCdTe註入錶麵的缺陷退火和雜質激活,而不會改變HgCdTe 組份.已用此方法在註入As+的n型HgCdTe樣片上製作齣性能較好的p+n結光伏紅外探測器.
토론료제작pn결적령일충도경,즉재n형HgCdTe재료상리자주입As+,연후통과복사쾌속퇴화형성반형p+층래획득p+n결.통과대제작공예급실험결과적토론,천술료량충제작pn결공예적특점.실험표명,채용복사쾌속퇴화공예가이재단시간내완성대HgCdTe주입표면적결함퇴화화잡질격활,이불회개변HgCdTe 조빈.이용차방법재주입As+적n형HgCdTe양편상제작출성능교호적p+n결광복홍외탐측기.
