材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2002年
2期
58-61
,共4页
窦瑞芬%田林海%潘俊德%陈飞%赵晋香
竇瑞芬%田林海%潘俊德%陳飛%趙晉香
두서분%전림해%반준덕%진비%조진향
网状阴极溅射%空心阴极效应%氮化钽薄膜
網狀陰極濺射%空心陰極效應%氮化鐽薄膜
망상음겁천사%공심음겁효응%담화단박막
介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.
介紹瞭一種在鋼鐵基體上製備氮化鐽薄膜的新方法--網狀陰極法.其設備簡單、價格低廉.實驗中髮現,在工藝參數調配閤適的條件下,可製備齣結構為麵心立方和密排六方結構的氮化鐽薄膜.薄膜較緻密且均勻,與基體結閤良好.分析瞭優選工藝參數條件下閤成的氮化鐽膜的成分、組織、錶麵和斷口形貌及結閤力.
개소료일충재강철기체상제비담화단박막적신방법--망상음겁법.기설비간단、개격저렴.실험중발현,재공예삼수조배합괄적조건하,가제비출결구위면심립방화밀배륙방결구적담화단박막.박막교치밀차균균,여기체결합량호.분석료우선공예삼수조건하합성적담화단막적성분、조직、표면화단구형모급결합력.
