功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
3期
297-302
,共6页
浮体效应%翘曲效应%寄生双极晶体管效应%SOI器件
浮體效應%翹麯效應%寄生雙極晶體管效應%SOI器件
부체효응%교곡효응%기생쌍겁정체관효응%SOI기건
SOI(Silicon On Insulator)器件中氧化埋层的隔离作用带来的浮体效应,将显著地影响器件的性能.本文阐述了浮体效应产生的原因以及它对SOI器件和电路的影响,并从体接触和工艺角度两个方面介绍了目前国际上比较优异的抑制浮体效应的几种典型器件结构.
SOI(Silicon On Insulator)器件中氧化埋層的隔離作用帶來的浮體效應,將顯著地影響器件的性能.本文闡述瞭浮體效應產生的原因以及它對SOI器件和電路的影響,併從體接觸和工藝角度兩箇方麵介紹瞭目前國際上比較優異的抑製浮體效應的幾種典型器件結構.
SOI(Silicon On Insulator)기건중양화매층적격리작용대래적부체효응,장현저지영향기건적성능.본문천술료부체효응산생적원인이급타대SOI기건화전로적영향,병종체접촉화공예각도량개방면개소료목전국제상비교우이적억제부체효응적궤충전형기건결구.
