材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2002年
2期
163-165,176
,共4页
a-C:F:H薄膜%傅立叶变换红外光谱%紫外可见光谱
a-C:F:H薄膜%傅立葉變換紅外光譜%紫外可見光譜
a-C:F:H박막%부립협변환홍외광보%자외가견광보
改变CHF3/CH4流量比R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR-CVD)方法沉积a-C:F:H薄膜.a-C:F:H薄膜的结构和光学带隙使用傅立叶变换红外光谱和紫外-可见光谱来表征.红外结果表明,在低流量比R(R<64%)下,薄膜的红外特征结构主要以-CF(1060cm-1),-CF2(1120cm-1)以及-CHx(2800～3000cm-1)的伸缩振动为主;在高流量比R(R＞64%)下,薄膜表现为类聚四氟乙烯(PTFE)的结构特征,典型的红外特征峰是位于1220cm-1处的-CF2反对称伸缩振动.薄膜的光学带隙Eg随流量比R的变化表现为先降后升.进一步研究表明,薄膜中的H和F浓度调制着薄膜的 C==C共轭双键结构,使光学带隙Eg从2.37到3.3之间变化.
改變CHF3/CH4流量比R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),採用微波電子迴鏇共振等離子體化學氣相沉積(MWECR-CVD)方法沉積a-C:F:H薄膜.a-C:F:H薄膜的結構和光學帶隙使用傅立葉變換紅外光譜和紫外-可見光譜來錶徵.紅外結果錶明,在低流量比R(R<64%)下,薄膜的紅外特徵結構主要以-CF(1060cm-1),-CF2(1120cm-1)以及-CHx(2800～3000cm-1)的伸縮振動為主;在高流量比R(R＞64%)下,薄膜錶現為類聚四氟乙烯(PTFE)的結構特徵,典型的紅外特徵峰是位于1220cm-1處的-CF2反對稱伸縮振動.薄膜的光學帶隙Eg隨流量比R的變化錶現為先降後升.進一步研究錶明,薄膜中的H和F濃度調製著薄膜的 C==C共軛雙鍵結構,使光學帶隙Eg從2.37到3.3之間變化.
개변CHF3/CH4류량비R=[CHF3]/([CHF3]+[CH4]),채용미파전자회선공진등리자체화학기상침적(MWECR-CVD)방법침적a-C:F:H박막.a-C:F:H박막적결구화광학대극사용부립협변환홍외광보화자외-가견광보래표정.홍외결과표명,재저류량비R(R<64%)하,박막적홍외특정결구주요이-CF(1060cm-1),-CF2(1120cm-1)이급-CHx(2800～3000cm-1)적신축진동위주;재고류량비R(R＞64%)하,박막표현위류취사불을희(PTFE)적결구특정,전형적홍외특정봉시위우1220cm-1처적-CF2반대칭신축진동.박막적광학대극Eg수류량비R적변화표현위선강후승.진일보연구표명,박막중적H화F농도조제착박막적 C==C공액쌍건결구,사광학대극Eg종2.37도3.3지간변화.
