西北工业大学学报
西北工業大學學報
서북공업대학학보
JOURNAL OF NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
2002年
1期
128-131
,共4页
超光滑光学基片%激光清洗%清洗机理
超光滑光學基片%激光清洗%清洗機理
초광활광학기편%격광청세%청세궤리
分析了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片表面应用中的难点和可行性,并利用Nd:YAG脉冲激光器对超光滑光学玻璃表面进行了激光清洗实验,实验结果表明了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片方面非常有效.在此基础上建立了激光清洗的热学模型,结合气泡成长动力学和流体力学理论,分析了超光滑光学基片表面激光清洗的机理,量化了作用于杂质微粒上的去除力.
分析瞭激光清洗技術在清洗超光滑光學基片錶麵應用中的難點和可行性,併利用Nd:YAG脈遲激光器對超光滑光學玻璃錶麵進行瞭激光清洗實驗,實驗結果錶明瞭激光清洗技術在清洗超光滑光學基片方麵非常有效.在此基礎上建立瞭激光清洗的熱學模型,結閤氣泡成長動力學和流體力學理論,分析瞭超光滑光學基片錶麵激光清洗的機理,量化瞭作用于雜質微粒上的去除力.
분석료격광청세기술재청세초광활광학기편표면응용중적난점화가행성,병이용Nd:YAG맥충격광기대초광활광학파리표면진행료격광청세실험,실험결과표명료격광청세기술재청세초광활광학기편방면비상유효.재차기출상건립료격광청세적열학모형,결합기포성장동역학화류체역학이론,분석료초광활광학기편표면격광청세적궤리,양화료작용우잡질미립상적거제력.
