电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2001年
5期
607-609
,共3页
黄文浩%张竟敏%阎立峰%陈宇航%褚家如
黃文浩%張竟敏%閻立峰%陳宇航%褚傢如
황문호%장경민%염립봉%진우항%저가여
金刚石%磨削%微结构%原子力显微镜
金剛石%磨削%微結構%原子力顯微鏡
금강석%마삭%미결구%원자력현미경
本文报告用原子力显微镜(AFM)测量金刚石精密加工表面的微观结构,获得了用机械抛光法与热化学抛光法得到的表面纳米级形貌.前者呈直线纹理,反映出金刚石磨料的刮削机理,后者表面较平滑,无明显加工纹理,但在磨削方向出现一些蚀坑,反映出碳原子扩散的化学磨削机理.
本文報告用原子力顯微鏡(AFM)測量金剛石精密加工錶麵的微觀結構,穫得瞭用機械拋光法與熱化學拋光法得到的錶麵納米級形貌.前者呈直線紋理,反映齣金剛石磨料的颳削機理,後者錶麵較平滑,無明顯加工紋理,但在磨削方嚮齣現一些蝕坑,反映齣碳原子擴散的化學磨削機理.
본문보고용원자력현미경(AFM)측량금강석정밀가공표면적미관결구,획득료용궤계포광법여열화학포광법득도적표면납미급형모.전자정직선문리,반영출금강석마료적괄삭궤리,후자표면교평활,무명현가공문리,단재마삭방향출현일사식갱,반영출탄원자확산적화학마삭궤리.