应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2005年
5期
45-49
,共5页
钛铌酸锶钡薄膜%光敏特性%吸收光谱%频率特性
鈦鈮痠鍶鋇薄膜%光敏特性%吸收光譜%頻率特性
태니산송패박막%광민특성%흡수광보%빈솔특성
利用硅平面工艺和氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积一层厚45 nm的钛铌酸锶钡(Ba1-x SrxNbyTi1-yO3)薄膜,制成Al/Ba1xSrxNbyTi1-yO3/SiO2/Si结构平面型薄膜电阻器.测试了该薄膜电阻器的吸收光谱,不同照度、电压下的光电流,调制光下的频率特性.实验结果表明:在钛酸钡中掺入锶(Sr)和铌(Nb)后,禁带内引入了杂质能级,钛铌酸锶钡禁带宽度变为2.7 eV,且可见光区域存在连续的吸收峰.该薄膜在近紫外及可见光范围内具有良好的光敏特性,其灵敏度和光电导增益较高,并且具有较好的线性光照特性.光照强度较低时,电阻器的光照特性属于单分子复合过程;光照强度较高时,电阻器的光照特性属于双分子复合过程.通过对该薄膜电阻器频率特性的测量得出:在光照度为200 lx时,薄膜中光生载流子的寿命为27 ms.
利用硅平麵工藝和氬離子束鍍膜技術在SiO2/Si襯底上澱積一層厚45 nm的鈦鈮痠鍶鋇(Ba1-x SrxNbyTi1-yO3)薄膜,製成Al/Ba1xSrxNbyTi1-yO3/SiO2/Si結構平麵型薄膜電阻器.測試瞭該薄膜電阻器的吸收光譜,不同照度、電壓下的光電流,調製光下的頻率特性.實驗結果錶明:在鈦痠鋇中摻入鍶(Sr)和鈮(Nb)後,禁帶內引入瞭雜質能級,鈦鈮痠鍶鋇禁帶寬度變為2.7 eV,且可見光區域存在連續的吸收峰.該薄膜在近紫外及可見光範圍內具有良好的光敏特性,其靈敏度和光電導增益較高,併且具有較好的線性光照特性.光照彊度較低時,電阻器的光照特性屬于單分子複閤過程;光照彊度較高時,電阻器的光照特性屬于雙分子複閤過程.通過對該薄膜電阻器頻率特性的測量得齣:在光照度為200 lx時,薄膜中光生載流子的壽命為27 ms.
이용규평면공예화아리자속도막기술재SiO2/Si츤저상정적일층후45 nm적태니산송패(Ba1-x SrxNbyTi1-yO3)박막,제성Al/Ba1xSrxNbyTi1-yO3/SiO2/Si결구평면형박막전조기.측시료해박막전조기적흡수광보,불동조도、전압하적광전류,조제광하적빈솔특성.실험결과표명:재태산패중참입송(Sr)화니(Nb)후,금대내인입료잡질능급,태니산송패금대관도변위2.7 eV,차가견광구역존재련속적흡수봉.해박막재근자외급가견광범위내구유량호적광민특성,기령민도화광전도증익교고,병차구유교호적선성광조특성.광조강도교저시,전조기적광조특성속우단분자복합과정;광조강도교고시,전조기적광조특성속우쌍분자복합과정.통과대해박막전조기빈솔특성적측량득출:재광조도위200 lx시,박막중광생재류자적수명위27 ms.
