机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2005年
8期
38-40
,共3页
石英晶片%差动传感器%单片机%厚度检测仪
石英晶片%差動傳感器%單片機%厚度檢測儀
석영정편%차동전감기%단편궤%후도검측의
本文所研究设计的基于单片机系统的石晶片厚度检测仪是为生产中测量晶片厚度而设计的,它利用LVDT传感器检测晶片厚度信息,在单片机系统中进行数据处理,利用传感器感应电势与晶片厚度成线性的关系,将厚度信息进行转换显示.其具有结构简单、操作方便、性能稳定可靠、精确度高等特点,可广泛使用于超薄物件的精确测量,具有很好的应用前景.
本文所研究設計的基于單片機繫統的石晶片厚度檢測儀是為生產中測量晶片厚度而設計的,它利用LVDT傳感器檢測晶片厚度信息,在單片機繫統中進行數據處理,利用傳感器感應電勢與晶片厚度成線性的關繫,將厚度信息進行轉換顯示.其具有結構簡單、操作方便、性能穩定可靠、精確度高等特點,可廣汎使用于超薄物件的精確測量,具有很好的應用前景.
본문소연구설계적기우단편궤계통적석정편후도검측의시위생산중측량정편후도이설계적,타이용LVDT전감기검측정편후도신식,재단편궤계통중진행수거처리,이용전감기감응전세여정편후도성선성적관계,장후도신식진행전환현시.기구유결구간단、조작방편、성능은정가고、정학도고등특점,가엄범사용우초박물건적정학측량,구유흔호적응용전경.
