清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
7期
1341-1344
,共4页
吴建刚%岳瑞峰%曾雪锋%刘理天
吳建剛%嶽瑞峰%曾雪鋒%劉理天
오건강%악서봉%증설봉%류리천
微流控芯片%介质上电润湿%表面张力%微机械
微流控芯片%介質上電潤濕%錶麵張力%微機械
미류공심편%개질상전윤습%표면장력%미궤계
为了实现对微尺度下流体的精确操控,提出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-dielectric, EWOD)的新型微液滴驱动芯片.研究了介质上电润湿原理及"三明治"结构驱动机制,并利用流体软件(CFD-ACE+)数值模拟液滴在"三明治"结构中的驱动情况;分析了"三明治"结构液滴驱动芯片的工艺,并提出在重掺杂多晶硅电极阵列表面上热氧二氧化硅介质层来制备低驱动电压及高可靠性的新结构驱动芯片;在空气环境下,通过施加45 V驱动电压成功实现了对离散液滴的操作和控制.
為瞭實現對微呎度下流體的精確操控,提齣一種基于介質上電潤濕(electrowetting-on-dielectric, EWOD)的新型微液滴驅動芯片.研究瞭介質上電潤濕原理及"三明治"結構驅動機製,併利用流體軟件(CFD-ACE+)數值模擬液滴在"三明治"結構中的驅動情況;分析瞭"三明治"結構液滴驅動芯片的工藝,併提齣在重摻雜多晶硅電極陣列錶麵上熱氧二氧化硅介質層來製備低驅動電壓及高可靠性的新結構驅動芯片;在空氣環境下,通過施加45 V驅動電壓成功實現瞭對離散液滴的操作和控製.
위료실현대미척도하류체적정학조공,제출일충기우개질상전윤습(electrowetting-on-dielectric, EWOD)적신형미액적구동심편.연구료개질상전윤습원리급"삼명치"결구구동궤제,병이용류체연건(CFD-ACE+)수치모의액적재"삼명치"결구중적구동정황;분석료"삼명치"결구액적구동심편적공예,병제출재중참잡다정규전겁진렬표면상열양이양화규개질층래제비저구동전압급고가고성적신결구구동심편;재공기배경하,통과시가45 V구동전압성공실현료대리산액적적조작화공제.
