传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
416-419
,共4页
于茂华%王小静%谢明春%王国亮%张敏亮
于茂華%王小靜%謝明春%王國亮%張敏亮
우무화%왕소정%사명춘%왕국량%장민량
刮板式微致动器,加工工艺%理论建模
颳闆式微緻動器,加工工藝%理論建模
괄판식미치동기,가공공예%이론건모
刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器.结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比.结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性.
颳闆式微緻動器,是一種可以實現大位移、步進式MEMS納米微緻動器.結閤颳闆式微緻動器的錶麵硅加工工藝,攷慮支撐樑的反作用力建立瞭新的理論分析模型,分析瞭微緻動器的臨界電壓、單步位移以及最大輸齣位移等幾箇重要性能參數,將理論模型的計算結果與已有的實驗數據以及理論模型作瞭對比.結果錶明,本文理論分析模型的的理論值與實驗結果有較好的一緻性.
괄판식미치동기,시일충가이실현대위이、보진식MEMS납미미치동기.결합괄판식미치동기적표면규가공공예,고필지탱량적반작용력건립료신적이론분석모형,분석료미치동기적림계전압、단보위이이급최대수출위이등궤개중요성능삼수,장이론모형적계산결과여이유적실험수거이급이론모형작료대비.결과표명,본문이론분석모형적적이론치여실험결과유교호적일치성.
