光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2009年
5期
78-81
,共4页
ZnS薄膜%沉积方式%缺陷密度%损伤阈值
ZnS薄膜%沉積方式%缺陷密度%損傷閾值
ZnS박막%침적방식%결함밀도%손상역치
介绍了ZnS薄膜缺陷的分类、特点及成因,在此基础上,采用电子显微镜与原子力显微镜对不同沉积方式沉积的薄膜进行了观察、分析与计算,检测了不同类型与大小的缺陷,对缺陷产生的原因进行了简要分析,分析了沉积方式这一参数对ZnS薄膜表面缺陷密度的影响,得出了镀制ZnS薄膜所需的合适沉积方式.实验结果表明:薄膜表面缺陷主要以节瘤缺陷与陷穴缺陷为主,电阻热蒸发比电子枪所镀制的ZnS薄膜缺陷密度要小,在蒸发舟上加上挡网后,缺陷密度有进一步减小的趋势,并且缺陷面积与数目也有所减小,缺陷面积小于20μm2.
介紹瞭ZnS薄膜缺陷的分類、特點及成因,在此基礎上,採用電子顯微鏡與原子力顯微鏡對不同沉積方式沉積的薄膜進行瞭觀察、分析與計算,檢測瞭不同類型與大小的缺陷,對缺陷產生的原因進行瞭簡要分析,分析瞭沉積方式這一參數對ZnS薄膜錶麵缺陷密度的影響,得齣瞭鍍製ZnS薄膜所需的閤適沉積方式.實驗結果錶明:薄膜錶麵缺陷主要以節瘤缺陷與陷穴缺陷為主,電阻熱蒸髮比電子鎗所鍍製的ZnS薄膜缺陷密度要小,在蒸髮舟上加上擋網後,缺陷密度有進一步減小的趨勢,併且缺陷麵積與數目也有所減小,缺陷麵積小于20μm2.
개소료ZnS박막결함적분류、특점급성인,재차기출상,채용전자현미경여원자력현미경대불동침적방식침적적박막진행료관찰、분석여계산,검측료불동류형여대소적결함,대결함산생적원인진행료간요분석,분석료침적방식저일삼수대ZnS박막표면결함밀도적영향,득출료도제ZnS박막소수적합괄침적방식.실험결과표명:박막표면결함주요이절류결함여함혈결함위주,전조열증발비전자창소도제적ZnS박막결함밀도요소,재증발주상가상당망후,결함밀도유진일보감소적추세,병차결함면적여수목야유소감소,결함면적소우20μm2.
