CAJ | 학술논문

介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9 m3/s量级的精密小孔,通过在10-1～10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8～ 10-10 Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%.利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10～ 10-12 Pa· m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%.利用极小气体流量测量技术校准了小于10- Pa· m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度.与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级.
개소료고정류도법겁소기체류량측량기술,이용류도치위10-9 m3/s량급적정밀소공,통과재10-1～10 Pa범위내조절진기압력,실현료10-8～ 10-10 Pa·m3/s적류량측량,합성표준불학정도위0.94%.이용류도비치위187.9적량개격광소공,장고정류도법산생료류량분류위총류량적0.53%,실현료10-10～ 10-12 Pa· m3/s범위내류량적측량,합성표준불학정도위1.2%.이용겁소기체류량측량기술교준료소우10- Pa· m3/s량급적진공루공,이차피면료사겁질보계적비선성인입적측량불학정도.여현유기체류량측량기술상비,제출적겁소기체류량측량기술장측량하한연신료4개수량급.