强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
5期
1098-1102
,共5页
KBA显微镜%分辨力%几何像差%衍射效应%表面粗糙度
KBA顯微鏡%分辨力%幾何像差%衍射效應%錶麵粗糙度
KBA현미경%분변력%궤하상차%연사효응%표면조조도
为了对KBA显微镜的分辨能力进行准确计算,对KBA显微镜的分辨力和影响因素进行了研究,分析了衍射效应、几何像差,面形误差和粗糙度等因素对分辨力的影响,以此为基础建立了KBA显微镜的分辨力计算模型,并模拟了KBA显微镜的分辨力与视场的关系.用KBA显微镜获得了2.5keV能量的X射线成像结果,中心视场范围的分辨力约为6μm.通过实验结果与模型模拟的对比,可得建立的模型对KBA显微镜分辨力与视场尺寸的关系的描述与实际测试的结果基本符合,并对不完善之处进行了分析.
為瞭對KBA顯微鏡的分辨能力進行準確計算,對KBA顯微鏡的分辨力和影響因素進行瞭研究,分析瞭衍射效應、幾何像差,麵形誤差和粗糙度等因素對分辨力的影響,以此為基礎建立瞭KBA顯微鏡的分辨力計算模型,併模擬瞭KBA顯微鏡的分辨力與視場的關繫.用KBA顯微鏡穫得瞭2.5keV能量的X射線成像結果,中心視場範圍的分辨力約為6μm.通過實驗結果與模型模擬的對比,可得建立的模型對KBA顯微鏡分辨力與視場呎吋的關繫的描述與實際測試的結果基本符閤,併對不完善之處進行瞭分析.
위료대KBA현미경적분변능력진행준학계산,대KBA현미경적분변력화영향인소진행료연구,분석료연사효응、궤하상차,면형오차화조조도등인소대분변력적영향,이차위기출건립료KBA현미경적분변력계산모형,병모의료KBA현미경적분변력여시장적관계.용KBA현미경획득료2.5keV능량적X사선성상결과,중심시장범위적분변력약위6μm.통과실험결과여모형모의적대비,가득건립적모형대KBA현미경분변력여시장척촌적관계적묘술여실제측시적결과기본부합,병대불완선지처진행료분석.
