半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2004年
2期
214-220
,共7页
喻文健%王泽毅%王玉刚%陆涛涛%陈瑞明
喻文健%王澤毅%王玉剛%陸濤濤%陳瑞明
유문건%왕택의%왕옥강%륙도도%진서명
寄生电容%复杂互连结构%边界元法%形体处理
寄生電容%複雜互連結構%邊界元法%形體處理
기생전용%복잡호련결구%변계원법%형체처리
针对当前集成电路中日益复杂的互连结构,提出了一种边界元电容提取中的形体处理方法,可适用于填充气隙、保形介质、多平面介质,以及任意复杂的寄生电容结构.在该处理方法中采用多叉树组织三维形体对象,并有效地生成区域边界表面的信息.数值实验表明,该方法拓宽了边界元电容提取处理复杂结构的能力,且具有较高效率.
針對噹前集成電路中日益複雜的互連結構,提齣瞭一種邊界元電容提取中的形體處理方法,可適用于填充氣隙、保形介質、多平麵介質,以及任意複雜的寄生電容結構.在該處理方法中採用多扠樹組織三維形體對象,併有效地生成區域邊界錶麵的信息.數值實驗錶明,該方法拓寬瞭邊界元電容提取處理複雜結構的能力,且具有較高效率.
침대당전집성전로중일익복잡적호련결구,제출료일충변계원전용제취중적형체처리방법,가괄용우전충기극、보형개질、다평면개질,이급임의복잡적기생전용결구.재해처리방법중채용다차수조직삼유형체대상,병유효지생성구역변계표면적신식.수치실험표명,해방법탁관료변계원전용제취처리복잡결구적능력,차구유교고효솔.
