半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
z1期
220-224
,共5页
安俊明%夏君旨%李健%郜定山%李建光%王红杰%胡雄伟
安俊明%夏君旨%李健%郜定山%李建光%王紅傑%鬍雄偉
안준명%하군지%리건%고정산%리건광%왕홍걸%호웅위
阵列波导光栅%串扰%相位误差%数值分析
陣列波導光柵%串擾%相位誤差%數值分析
진렬파도광책%천우%상위오차%수치분석
采用传输函数法对硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)的相位系统误差和随机误差进行了详细的分析.系统误差的模拟结果表明阵列波导的有效折射率和相邻阵列波导长度差ΔL的偏移将会对使中心波长λ0偏离设计值,平板波导有效折射率、阵列波导的间距、罗兰圆聚焦长度R的偏移会使通道间隔偏离设计值.随机误差的模拟结果表明相邻阵列波导长度差、阵列波导中芯区折射率、芯区宽度、芯区厚度的随机波动对AWG的串扰影响较大,而波导上、下包层折射率的波动对AWG串扰影响较小.
採用傳輸函數法對硅基二氧化硅陣列波導光柵(AWG)的相位繫統誤差和隨機誤差進行瞭詳細的分析.繫統誤差的模擬結果錶明陣列波導的有效摺射率和相鄰陣列波導長度差ΔL的偏移將會對使中心波長λ0偏離設計值,平闆波導有效摺射率、陣列波導的間距、囉蘭圓聚焦長度R的偏移會使通道間隔偏離設計值.隨機誤差的模擬結果錶明相鄰陣列波導長度差、陣列波導中芯區摺射率、芯區寬度、芯區厚度的隨機波動對AWG的串擾影響較大,而波導上、下包層摺射率的波動對AWG串擾影響較小.
채용전수함수법대규기이양화규진렬파도광책(AWG)적상위계통오차화수궤오차진행료상세적분석.계통오차적모의결과표명진렬파도적유효절사솔화상린진렬파도장도차ΔL적편이장회대사중심파장λ0편리설계치,평판파도유효절사솔、진렬파도적간거、라란원취초장도R적편이회사통도간격편리설계치.수궤오차적모의결과표명상린진렬파도장도차、진렬파도중심구절사솔、심구관도、심구후도적수궤파동대AWG적천우영향교대,이파도상、하포층절사솔적파동대AWG천우영향교소.
