纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
2期
142-145
,共4页
吴亚雷%刘爽%刘芳%许晓慧%文莉%褚家如
吳亞雷%劉爽%劉芳%許曉慧%文莉%褚傢如
오아뢰%류상%류방%허효혜%문리%저가여
变形镜%微致动器%锆钛酸铅薄膜%镍酸镧
變形鏡%微緻動器%鋯鈦痠鉛薄膜%鎳痠鑭
변형경%미치동기%고태산연박막%얼산란
以锆钛酸铅(PZT)薄膜作为驱动材料,制备了变形镜的微致动器阵列.使用有限元软件对致动器进行了模拟仿真,得到了驱动器上电极尺寸、Si弹性层厚度等参数对致动器性能的影响,获得了最优化的致动器结构.以钙钛矿相的镍酸镧(LNO)作为PZT薄膜在Pt衬底上生长的缓冲层,增强了PZT薄膜的(100)取向,减小了PZT薄膜的内部应力,提高了致动器的驱动性能.最终制备出的1μm厚PZT薄膜驱动的变形镜微致动器,在10 V直流电压的激励下,具有2.0μm的变形量.以PZT薄膜作为驱动材料制备的变形镜微致动器阵列,对变形镜致动器的微型化和系统集成度的提高具有重要意义.
以鋯鈦痠鉛(PZT)薄膜作為驅動材料,製備瞭變形鏡的微緻動器陣列.使用有限元軟件對緻動器進行瞭模擬倣真,得到瞭驅動器上電極呎吋、Si彈性層厚度等參數對緻動器性能的影響,穫得瞭最優化的緻動器結構.以鈣鈦礦相的鎳痠鑭(LNO)作為PZT薄膜在Pt襯底上生長的緩遲層,增彊瞭PZT薄膜的(100)取嚮,減小瞭PZT薄膜的內部應力,提高瞭緻動器的驅動性能.最終製備齣的1μm厚PZT薄膜驅動的變形鏡微緻動器,在10 V直流電壓的激勵下,具有2.0μm的變形量.以PZT薄膜作為驅動材料製備的變形鏡微緻動器陣列,對變形鏡緻動器的微型化和繫統集成度的提高具有重要意義.
이고태산연(PZT)박막작위구동재료,제비료변형경적미치동기진렬.사용유한원연건대치동기진행료모의방진,득도료구동기상전겁척촌、Si탄성층후도등삼수대치동기성능적영향,획득료최우화적치동기결구.이개태광상적얼산란(LNO)작위PZT박막재Pt츤저상생장적완충층,증강료PZT박막적(100)취향,감소료PZT박막적내부응력,제고료치동기적구동성능.최종제비출적1μm후PZT박막구동적변형경미치동기,재10 V직류전압적격려하,구유2.0μm적변형량.이PZT박막작위구동재료제비적변형경미치동기진렬,대변형경치동기적미형화화계통집성도적제고구유중요의의.
