天津理工大学学报
天津理工大學學報
천진리공대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2010年
1期
25-27
,共3页
朱珊珊%陈希明%肖琦%吴小国
硃珊珊%陳希明%肖琦%吳小國
주산산%진희명%초기%오소국
磁控共溅射%Cr掺杂ZnO薄膜%制备%性能
磁控共濺射%Cr摻雜ZnO薄膜%製備%性能
자공공천사%Cr참잡ZnO박막%제비%성능
本文采用磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备了Cr掺杂ZnO薄膜,通过改变Cr溅射功率,从而改变Cr的掺杂量.介绍了Zn1-xCrxO薄膜的制备方法,分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)对不同Cr溅射功率的一系列薄膜的结构,成份、元素含量及价态等性能进行了分析.结果表明,Cr溅射功率为20 W的样品,具有最好的c轴择优取向,Cr以+3价形式掺入薄膜中,Cr3+替代了部分Zn2+.
本文採用磁控共濺射方法在玻璃襯底上製備瞭Cr摻雜ZnO薄膜,通過改變Cr濺射功率,從而改變Cr的摻雜量.介紹瞭Zn1-xCrxO薄膜的製備方法,分彆用X射線衍射(XRD)和X射線光電子能譜(XPS)對不同Cr濺射功率的一繫列薄膜的結構,成份、元素含量及價態等性能進行瞭分析.結果錶明,Cr濺射功率為20 W的樣品,具有最好的c軸擇優取嚮,Cr以+3價形式摻入薄膜中,Cr3+替代瞭部分Zn2+.
본문채용자공공천사방법재파리츤저상제비료Cr참잡ZnO박막,통과개변Cr천사공솔,종이개변Cr적참잡량.개소료Zn1-xCrxO박막적제비방법,분별용X사선연사(XRD)화X사선광전자능보(XPS)대불동Cr천사공솔적일계렬박막적결구,성빈、원소함량급개태등성능진행료분석.결과표명,Cr천사공솔위20 W적양품,구유최호적c축택우취향,Cr이+3개형식참입박막중,Cr3+체대료부분Zn2+.
