压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2011年
6期
976-978
,共3页
溶胶-凝胶法%La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜%底电极%结构性能
溶膠-凝膠法%La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜%底電極%結構性能
용효-응효법%La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)박막%저전겁%결구성능
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si衬底上沉积一层La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜底电极,并在不同的退火温度下表征薄膜的各种性质.X线衍射表明在550～750℃退火温度下制备的LSCO薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构；谢乐公式估算薄膜的晶粒尺寸为25～50 nm.扫描电子显微镜(SEM)观察结果显示:薄膜表面平整,结构致密.运用四探针法测量薄膜的体电阻,结果表明,750℃退火温度后渗氧处理可获得电阻率较低的La0.5Sr0.5 CoO3薄膜.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法在Si襯底上沉積一層La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜底電極,併在不同的退火溫度下錶徵薄膜的各種性質.X線衍射錶明在550～750℃退火溫度下製備的LSCO薄膜呈(110)取嚮的鈣鈦礦結構；謝樂公式估算薄膜的晶粒呎吋為25～50 nm.掃描電子顯微鏡(SEM)觀察結果顯示:薄膜錶麵平整,結構緻密.運用四探針法測量薄膜的體電阻,結果錶明,750℃退火溫度後滲氧處理可穫得電阻率較低的La0.5Sr0.5 CoO3薄膜.
채용용효-응효(Sol-Gel)법재Si츤저상침적일층La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)박막저전겁,병재불동적퇴화온도하표정박막적각충성질.X선연사표명재550～750℃퇴화온도하제비적LSCO박막정(110)취향적개태광결구；사악공식고산박막적정립척촌위25～50 nm.소묘전자현미경(SEM)관찰결과현시:박막표면평정,결구치밀.운용사탐침법측량박막적체전조,결과표명,750℃퇴화온도후삼양처리가획득전조솔교저적La0.5Sr0.5 CoO3박막.
