金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2005年
2期
21-24,35
,共5页
陈志红%余志明%许向阳%刘王平
陳誌紅%餘誌明%許嚮暘%劉王平
진지홍%여지명%허향양%류왕평
热丝化学气相沉积%硬质合金%金刚石薄膜%织构
熱絲化學氣相沉積%硬質閤金%金剛石薄膜%織構
열사화학기상침적%경질합금%금강석박막%직구
采用热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜.研究了不同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对金刚石膜的表面形貌、织构形成进行了分析.结果表明:当基体温度为760℃,沉积气压为4×103Pa,甲烷浓度从1%到5%,都形成了(110)织构.但是,当甲烷浓度为3.3%时,有(100)织构.
採用熱絲化學氣相沉積法,以甲烷和氫氣為反應氣體,在硬質閤金YG6基體上沉積瞭金剛石薄膜.研究瞭不同的甲烷濃度對金剛石織構變化趨勢的影響.分彆採用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)對金剛石膜的錶麵形貌、織構形成進行瞭分析.結果錶明:噹基體溫度為760℃,沉積氣壓為4×103Pa,甲烷濃度從1%到5%,都形成瞭(110)織構.但是,噹甲烷濃度為3.3%時,有(100)織構.
채용열사화학기상침적법,이갑완화경기위반응기체,재경질합금YG6기체상침적료금강석박막.연구료불동적갑완농도대금강석직구변화추세적영향.분별채용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사의(XRD)대금강석막적표면형모、직구형성진행료분석.결과표명:당기체온도위760℃,침적기압위4×103Pa,갑완농도종1%도5%,도형성료(110)직구.단시,당갑완농도위3.3%시,유(100)직구.
