商丘职业技术学院学报
商丘職業技術學院學報
상구직업기술학원학보
JOURNAL OF SHANGQIU VOCATIONAL AND TECHNICAL COLLEGE
2007年
5期
72-75
,共4页
退火温度%ZnO:Tb复合薄膜%结构%形貌
退火溫度%ZnO:Tb複閤薄膜%結構%形貌
퇴화온도%ZnO:Tb복합박막%결구%형모
采用的两步法--先溅射成膜,后退火处理的工艺成功制备了ZnO:Tb复合薄膜,结合XRD、XPS、SEM等手段研究退火温度对薄膜结构和形貌的影响.发现退火温度950℃,退火时间10小时为ZnO:Tb薄膜的最佳工艺参数--薄膜表面形成新奇T-A-ZnO结构以及不同直径和长度的螺纹状纳米棒.
採用的兩步法--先濺射成膜,後退火處理的工藝成功製備瞭ZnO:Tb複閤薄膜,結閤XRD、XPS、SEM等手段研究退火溫度對薄膜結構和形貌的影響.髮現退火溫度950℃,退火時間10小時為ZnO:Tb薄膜的最佳工藝參數--薄膜錶麵形成新奇T-A-ZnO結構以及不同直徑和長度的螺紋狀納米棒.
채용적량보법--선천사성막,후퇴화처리적공예성공제비료ZnO:Tb복합박막,결합XRD、XPS、SEM등수단연구퇴화온도대박막결구화형모적영향.발현퇴화온도950℃,퇴화시간10소시위ZnO:Tb박막적최가공예삼수--박막표면형성신기T-A-ZnO결구이급불동직경화장도적라문상납미봉.
