原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
10期
938-943
,共6页
郑瑞廷%高凤菊%郁静%程国安
鄭瑞廷%高鳳菊%鬱靜%程國安
정서정%고봉국%욱정%정국안
磁过滤等离子沉积%自支撑薄膜%表面粗糙度
磁過濾等離子沉積%自支撐薄膜%錶麵粗糙度
자과려등리자침적%자지탱박막%표면조조도
利用磁过滤等离子沉积技术,以甜菜碱、油酸钾、抛光NaCl单晶基片、自支撑火棉胶膜和自支撑SiN薄膜为衬底制备了自支撑Ni膜.采用原子力显微镜和场发射扫描电子显微镜对薄膜表面形态和粗糙度进行了分析.结果表明:自支撑Ni膜的粗糙度与衬底材料密切相关,等离子体的沉积角度直接影响纳米薄膜的微观结构,采用60°倾斜沉积在自支撑火棉胶膜衬底上,可获得表面粗糙度为1.5 nm的自支撑Ni膜.
利用磁過濾等離子沉積技術,以甜菜堿、油痠鉀、拋光NaCl單晶基片、自支撐火棉膠膜和自支撐SiN薄膜為襯底製備瞭自支撐Ni膜.採用原子力顯微鏡和場髮射掃描電子顯微鏡對薄膜錶麵形態和粗糙度進行瞭分析.結果錶明:自支撐Ni膜的粗糙度與襯底材料密切相關,等離子體的沉積角度直接影響納米薄膜的微觀結構,採用60°傾斜沉積在自支撐火棉膠膜襯底上,可穫得錶麵粗糙度為1.5 nm的自支撐Ni膜.
이용자과려등리자침적기술,이첨채감、유산갑、포광NaCl단정기편、자지탱화면효막화자지탱SiN박막위츤저제비료자지탱Ni막.채용원자력현미경화장발사소묘전자현미경대박막표면형태화조조도진행료분석.결과표명:자지탱Ni막적조조도여츤저재료밀절상관,등리자체적침적각도직접영향납미박막적미관결구,채용60°경사침적재자지탱화면효막츤저상,가획득표면조조도위1.5 nm적자지탱Ni막.
