传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
5期
653-657
,共5页
平面矩形螺旋梁%微惯性开关%低g值开关%微机电系统(MEMS)
平麵矩形螺鏇樑%微慣性開關%低g值開關%微機電繫統(MEMS)
평면구형라선량%미관성개관%저g치개관%미궤전계통(MEMS)
惯性开关是一种感受惯性加速度,执行开关机械动作的精密惯性装置.选用典型的"弹簧-质量-阻尼"结构,研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1gn～30gn)微惯性开关.惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成,采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析.采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术,包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术,完成了微惯性开关的制备,划片后芯片尺寸为7 mmx7 mm×1.5 mm.经离心实验测试,微惯性开关的闭合阈值约为4.28gn,导通电阻约为9.3 Ω.多次测试结果表明,微惯性开关具有0.5gn的闭合精度,多次测试重复性较好,具有体积小,结构简单,加工容易实现等特点.
慣性開關是一種感受慣性加速度,執行開關機械動作的精密慣性裝置.選用典型的"彈簧-質量-阻尼"結構,研製瞭一種基于平麵矩形螺鏇樑的低g值(1gn～30gn)微慣性開關.慣性敏感單元由一箇方形質量塊和支撐它的兩根螺鏇樑組成,採用ANSYS有限元軟件對其進行瞭倣真分析.採用MEMS體硅加工工藝和圓片級封裝技術,包括KOH腐蝕、ICP刻蝕和噴塗工藝等關鍵工藝技術,完成瞭微慣性開關的製備,劃片後芯片呎吋為7 mmx7 mm×1.5 mm.經離心實驗測試,微慣性開關的閉閤閾值約為4.28gn,導通電阻約為9.3 Ω.多次測試結果錶明,微慣性開關具有0.5gn的閉閤精度,多次測試重複性較好,具有體積小,結構簡單,加工容易實現等特點.
관성개관시일충감수관성가속도,집행개관궤계동작적정밀관성장치.선용전형적"탄황-질량-조니"결구,연제료일충기우평면구형라선량적저g치(1gn～30gn)미관성개관.관성민감단원유일개방형질량괴화지탱타적량근라선량조성,채용ANSYS유한원연건대기진행료방진분석.채용MEMS체규가공공예화원편급봉장기술,포괄KOH부식、ICP각식화분도공예등관건공예기술,완성료미관성개관적제비,화편후심편척촌위7 mmx7 mm×1.5 mm.경리심실험측시,미관성개관적폐합역치약위4.28gn,도통전조약위9.3 Ω.다차측시결과표명,미관성개관구유0.5gn적폐합정도,다차측시중복성교호,구유체적소,결구간단,가공용역실현등특점.
