红外
紅外
홍외
INFRARED
2011年
7期
9-16
,共8页
薄膜%厚度%测量%精确
薄膜%厚度%測量%精確
박막%후도%측량%정학
提出了一种新的薄膜厚度测量方法.该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的过渡层为衬底,通过测量镀膜前后透（反）射谱的变化,即可实现薄膜厚度的精确测量.由于过渡层的厚度已经引起干涉,新镀上去的待测薄膜即使很薄,也会引起干涉的变化.通过镀制待测薄膜前后透（反）射谱干涉的变化,可以很容易地精确测量出待测薄膜的厚度,其测量极限高达1 nm以上.该方法既保持了传统光谱法的所有优势,又可以精确测量纳米超薄膜的厚度.它非常简单、快捷,特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度测量.
提齣瞭一種新的薄膜厚度測量方法.該方法以鍍有一層厚度足以引起榦涉的過渡層為襯底,通過測量鍍膜前後透（反）射譜的變化,即可實現薄膜厚度的精確測量.由于過渡層的厚度已經引起榦涉,新鍍上去的待測薄膜即使很薄,也會引起榦涉的變化.通過鍍製待測薄膜前後透（反）射譜榦涉的變化,可以很容易地精確測量齣待測薄膜的厚度,其測量極限高達1 nm以上.該方法既保持瞭傳統光譜法的所有優勢,又可以精確測量納米超薄膜的厚度.它非常簡單、快捷,特彆適用于鍍膜行業的在線檢測和實時鑑控,尤其是弱吸收材料超薄膜的厚度測量.
제출료일충신적박막후도측량방법.해방법이도유일층후도족이인기간섭적과도층위츤저,통과측량도막전후투（반）사보적변화,즉가실현박막후도적정학측량.유우과도층적후도이경인기간섭,신도상거적대측박막즉사흔박,야회인기간섭적변화.통과도제대측박막전후투（반）사보간섭적변화,가이흔용역지정학측량출대측박막적후도,기측량겁한고체1 nm이상.해방법기보지료전통광보법적소유우세,우가이정학측량납미초박막적후도.타비상간단、쾌첩,특별괄용우도막행업적재선검측화실시감공,우기시약흡수재료초박막적후도측량.
