电测与仪表
電測與儀錶
전측여의표
ELECTRICAL MEASUREMENT & INSTRUMENTATION
2012年
7期
89-92
,共4页
廉德钦%何常德%苗静%杜春晖%宛克敬%薛晨阳
廉德欽%何常德%苗靜%杜春暉%宛剋敬%薛晨暘
렴덕흠%하상덕%묘정%두춘휘%완극경%설신양
超声传感器%交流电桥%微弱电容%动态检测电路
超聲傳感器%交流電橋%微弱電容%動態檢測電路
초성전감기%교류전교%미약전용%동태검측전로
基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难.本文提出的半桥式交流电容检测电路能把快速变化的电容信号转换为电压信号,并加载到高频正弦激励信号中,再通过放大、解调、滤波得出电容变化量.该电路能很好地抑制寄生电容的影响,有良好的线性和稳定性,在200kHz的超声波作用下灵敏度可以达到2.8mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测.
基于MEMS技術研製的微電容超聲傳感器,在超聲波作用下其有效電容的變化量僅為飛法級,且變化速度非常快,檢測很睏難.本文提齣的半橋式交流電容檢測電路能把快速變化的電容信號轉換為電壓信號,併加載到高頻正絃激勵信號中,再通過放大、解調、濾波得齣電容變化量.該電路能很好地抑製寄生電容的影響,有良好的線性和穩定性,在200kHz的超聲波作用下靈敏度可以達到2.8mV/fF,基本滿足對超聲傳感器電容變化量的檢測.
기우MEMS기술연제적미전용초성전감기,재초성파작용하기유효전용적변화량부위비법급,차변화속도비상쾌,검측흔곤난.본문제출적반교식교류전용검측전로능파쾌속변화적전용신호전환위전압신호,병가재도고빈정현격려신호중,재통과방대、해조、려파득출전용변화량.해전로능흔호지억제기생전용적영향,유량호적선성화은정성,재200kHz적초성파작용하령민도가이체도2.8mV/fF,기본만족대초성전감기전용변화량적검측.
