无机盐工业
無機鹽工業
무궤염공업
INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY
2012年
1期
19-21
,共3页
杨保平%钟小华%张晓亮%崔锦峰%贾均红%易戈文
楊保平%鐘小華%張曉亮%崔錦峰%賈均紅%易戈文
양보평%종소화%장효량%최금봉%가균홍%역과문
ATO纳米薄膜%Sb掺杂量%sol - gel法%光透过率%方块电阻
ATO納米薄膜%Sb摻雜量%sol - gel法%光透過率%方塊電阻
ATO납미박막%Sb참잡량%sol - gel법%광투과솔%방괴전조
以四氯化锡和三氯化锑为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了不同锑掺杂量的纳米锑掺杂二氧化锡(ATO)薄膜.分别利用XRD、FESEM、紫外可见分光光度计和四探针电阻仪对晶体结构、薄膜形貌、光透过率和薄膜方块电阻进行表征,考察锑掺杂量对ATO薄膜晶体结构、晶粒尺寸、光透过率和导电性能的影响.结果表明:所制备的ATO薄膜为(110)面择优取向的四方相锡石结构,晶粒尺寸小于26 nm,当锑掺杂量为10％(物质的量分数)时,ATO薄膜具有最小的方块电阻(60.1Ω/□),可见光透过率大于85％.
以四氯化錫和三氯化銻為主要原料,採用溶膠-凝膠法製備瞭不同銻摻雜量的納米銻摻雜二氧化錫(ATO)薄膜.分彆利用XRD、FESEM、紫外可見分光光度計和四探針電阻儀對晶體結構、薄膜形貌、光透過率和薄膜方塊電阻進行錶徵,攷察銻摻雜量對ATO薄膜晶體結構、晶粒呎吋、光透過率和導電性能的影響.結果錶明:所製備的ATO薄膜為(110)麵擇優取嚮的四方相錫石結構,晶粒呎吋小于26 nm,噹銻摻雜量為10％(物質的量分數)時,ATO薄膜具有最小的方塊電阻(60.1Ω/□),可見光透過率大于85％.
이사록화석화삼록화제위주요원료,채용용효-응효법제비료불동제참잡량적납미제참잡이양화석(ATO)박막.분별이용XRD、FESEM、자외가견분광광도계화사탐침전조의대정체결구、박막형모、광투과솔화박막방괴전조진행표정,고찰제참잡량대ATO박막정체결구、정립척촌、광투과솔화도전성능적영향.결과표명:소제비적ATO박막위(110)면택우취향적사방상석석결구,정립척촌소우26 nm,당제참잡량위10％(물질적량분수)시,ATO박막구유최소적방괴전조(60.1Ω/□),가견광투과솔대우85％.
